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WRS系列為非接觸式電阻率量測設備,適配多種晶圓尺寸,有多種量測功能。自動(dòng)讀取Wafer ID,采用非接觸高精度渦電流傳感器測量體積電阻率,識別PN Type。
各種尺寸晶圓量測
自動(dòng)量測
Excel、CSV報表輸出
讀取Wafer ID
測量體積電阻率
識別PN Type
**設備規格可配合客戶(hù)需求訂制,歡迎來(lái)電洽詢(xún)。**
· 硅片
· 碳化硅
· 玻璃
· 薄膜
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