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白光干涉條紋搭配垂直掃描儀進(jìn)行自動(dòng)量測,重現量測對象的3D表面形貌。
具備自動(dòng)量測粗糙度、高度差、平整化以及分析輪廓尺寸、3D模型等功能。
需求咨詢(xún)聯(lián)機管理SECS/GEM
高精度移動(dòng)馬達
低維護成本
有效隔離高頻震動(dòng)
低人力操作成本
機臺自動(dòng)跑位、量測與報表輸出
**設備規格可配合客戶(hù)需求訂制,歡迎來(lái)電洽詢(xún)。**
· 觸控面板 · 太陽(yáng)能板 · 晶圓 · 微機電組件 | · 高密度線(xiàn)路印刷電路板 · IC封裝 · 多種量測功能:微結構輪廓、尺寸、孔穴深度、 斷差膜厚、高度差、角度、粗糙度、平整度 |
盲孔-深度10um | 彩色濾光片-深度2.5um | 雷射切割道-深度27um |
電阻-階高差214um | LED縫圖-最大高度差23um |
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